開關(guān)/傳感器
» 空氣用 流量開關(guān) / 傳感器
2色顯示 數(shù)字式流量開關(guān) PFM
傳感器/開關(guān) ? 電子式流量開關(guān)/傳感器無潤滑脂 氮氣（N2）對應(yīng)元件 ? 流量開關(guān)
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?可用于空氣、N2、Ar、CO2
?無潤滑脂規(guī)格。
?與流量調(diào)整閥一體化。
?體積小、重量輕、省空間。
※PFM系列于2022年3月停止生產(chǎn)。
請選擇PF2M710/725/750/711系列。
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）為CO2的場合 |
流量傳感器 PFMV5/PFGV301
傳感器/開關(guān) ? 電子式流量開關(guān)/傳感器無潤滑脂 氮氣（N2）對應(yīng)元件 ? 流量開關(guān)
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?微小工件的吸著確認
?重復(fù)精度±2%F.S.
?響應(yīng)速度：5ms以下、耐壓：500kPa
?無潤滑脂、RoHS對應(yīng)
?電壓顯示器 1個可對應(yīng)全部量程
?相關(guān)元件：真空過濾器 ZFC050系列
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0.0～0.1 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
