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2色顯示 數(shù)字式流量開關 PFM
傳感器/開關 ? 電子式流量開關/傳感器無潤滑脂 氮氣（N2）對應元件 ? 流量開關
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）為CO2的場合 |
流量傳感器 PFMV5/PFGV301
傳感器/開關 ? 電子式流量開關/傳感器無潤滑脂 氮氣（N2）對應元件 ? 流量開關
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0.0～0.1 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
