|低露點的潔凈空氣（潔凈室用空氣）
■用途示例
?潔凈室內(nèi)的半導(dǎo)體零部件吹氣
■凈化系統(tǒng)
點擊系列名可查看詳細(xì)信息。
AT,HAA/HAW：安裝于空氣壓縮機時不需要。
AT：使用螺桿式空氣壓縮機蓄壓時需要。
■壓縮空氣中的不純物 
| 水分 | 過濾精度 | 油霧濃度注1) | 油臭氣 | 系統(tǒng)的品質(zhì)等級注2) | |
|---|---|---|---|---|---|
| 露點 | 含有水分量 | ||||
| 大氣壓露點：-30～-60℃ 壓力露點：-6～-42℃（0.7MPa時） |
0.5g～0.02g/?(ANR) | 0.01μm (捕捉效率99.99%) |
Max.0.004mg/? (ANR) 0.0032ppm |
無 | 1,1,1注3) 1,2,1 1,3,1 |
注1）入口側(cè)的油霧濃度（壓縮及輸出濃度）約30mg/m3以下的場合。
注2）根據(jù)ISO8573-1：2010（JIS B8392-1：2012）的壓縮空氣品質(zhì)等級（參考上表），它是系統(tǒng)可得到的最高品質(zhì)等級。實際會因入口空氣條件而不同。
注3）因為可以定制（根據(jù)使用條件），請咨詢。
