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常閉型高真空電磁閥 XSA

流體控制元件 ? 小型2、3通電磁閥
高真空元件 ? 高真空閥
無潤滑脂 氮?dú)猓∟2)對(duì)應(yīng)元件 ? 高真空閥
    ?最低使用壓力:1×10-6Pa(abs)
    ?泄漏量:內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
    ?備有2種接頭、內(nèi)螺紋
    ?消耗功率:最大減少25%
    ?重量:最大減輕18% 0.5kg→0.41kg
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XSA常閉空氣
惰性氣體
面密封接頭
卡套式接頭
1/4, 3/8
XSA常閉空氣
惰性氣體
Rc, NPT內(nèi)螺紋1/8, 1/4, 3/8

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