■省空間:高37mm× 寬30mm
高:降低57mm(60%)
可設(shè)置于狹小的空間
■雙AC方式 IZT42系列(電位振幅降低的規(guī)格)
采用SMC獨(dú)有的雙AC方式,可降低電位振幅。
即使是對(duì)靜電敏感的設(shè)備,也可防止靜電放電(ESD)的破壞,去除靜電。
即使近距離設(shè)置也可降低目標(biāo)工件的電位振幅。
雙AC 方式 IZT42
同時(shí)釋放+離子和-離子,+/-離子均等地到達(dá)工件,因此電位振幅較小。
AC 方式 IZT40/IZT41
+離子和-離子以帶狀、交替地到達(dá)工件,因此除電效率提高。
玻璃基板的除靜電
從平臺(tái)上拾取時(shí),防止由剝離帶電導(dǎo)致的經(jīng)典破壞
電路基板的除靜電
?防止元件因放電而損壞
?防止塵埃附著
■AC 方式系列 IZT41 系列
帶自動(dòng)平衡功能
■標(biāo)準(zhǔn)型 IZT40 系列
操作簡(jiǎn)單,接通電源即可使用
可選AC適配器
(僅可在一根棒體時(shí)使用AC適配器)
■自由的布局
控制器和高壓電源組件可分離安裝
1 臺(tái)控制器最多可連接4根棒體
可選擇供氣口:右側(cè)/左側(cè)/兩側(cè)
可選擇棒體/電纜長(zhǎng)度
■維護(hù)性提高
采用低維護(hù)構(gòu)造的電極針卡盤(pán)
從電極針周?chē)懦鰤嚎s空氣,可使電極針不易變臟
2 種電極針材質(zhì)
鎢/單晶硅(硅晶片用)
可選高速除靜電卡盤(pán)、節(jié)能除靜電卡盤(pán)
采用插頭連接方式,插拔簡(jiǎn)單
只可更換棒體
■安全功能
防止電極針卡盤(pán)掉落的功能
兩步鎖定
防掉蓋
可更有效地防止電極針卡盤(pán)掉落
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