●水冷式冷凝器
利用冷卻水將冷媒冷卻并使其冷凝的熱交換器?？捎糜诖笮凸S等能夠循環(huán)使用冷卻塔水或空調(diào)冷卻水的環(huán)境。
根據(jù)熱交換器的構(gòu)造不同，可分為雙層管式、多管式、平板式等。
●釋放閥
當(dāng)一次側(cè)壓力超過設(shè)定值時(shí),釋放閥開啟，使壓力從二次側(cè)泄出的閥。
●SV值
SV：表示Set Value 溫控器中溫控的目標(biāo)溫度（設(shè)定溫度）。
●三相電源
三線的交流電流或交流電壓，互相差120度相位。
輸送相同電力時(shí)，三根線各自的電流大小與單相相比僅為三分之一，可以使用較細(xì)的電線。擁有更易形成旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)（可以使用簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的三相電機(jī)）的優(yōu)點(diǎn)。
高輸出的設(shè)備可以使用三相電源。
●SEMI S8
SEMI S8是除SEMI S2的14項(xiàng)的人體工程學(xué)要求之外的，更為詳細(xì)的人體工程學(xué)的指南。
●SEMI F47
SEMI F47是SEMI標(biāo)準(zhǔn)中、對(duì)電壓暫降抗擾度（對(duì)瞬時(shí)電壓下降的耐受性）進(jìn)行規(guī)定的指導(dǎo)原則。
對(duì)于溫調(diào)器來說是和SEMI S2相同的半導(dǎo)體制造用戶所要求的標(biāo)準(zhǔn)。
●SEMI S2
SEMI是半導(dǎo)體制造設(shè)備·平面顯示器制造設(shè)備和材料廠商的國際性產(chǎn)業(yè)團(tuán)體。制定了自己的SEMI標(biāo)準(zhǔn)，以作為半導(dǎo)體制造設(shè)備的設(shè)計(jì)相關(guān)的安全指南。
SEMI S2是半導(dǎo)體制造所使用的裝置的工作環(huán)境、衛(wèi)生以及安全的相關(guān)要求事項(xiàng)，包括了化學(xué)、輻射、電氣、物理、機(jī)械、環(huán)境、活在、地震、排放、人體工程學(xué)，以及質(zhì)量、文件、手冊(cè)等方面。
多數(shù)的半導(dǎo)體制造商要求工廠運(yùn)行的設(shè)備需符合SEMI S2。
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