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低露點(diǎn)クリーンエア（クリーンルーム用エア）
製品選定ガイド圧縮空気清浄化機(jī)器
低露點(diǎn)クリーンエア（クリーンルーム用エア）
用途例
- クリーンルーム內(nèi)での半導(dǎo)體部品のブロー
清浄化システム
シリーズ名をクリックすると詳細(xì)ページが表示されます。
AT,HAA/HAW：エアコンプレッサに取付いている場(chǎng)合は不要。
AT：スクリューコンプレッサの場(chǎng)合、蓄圧を目的とする場(chǎng)合は必要。
圧縮空気中の不純物
品質(zhì)等級(jí)| 水分 | ろ過(guò)度 | オイルミスト濃度注1) | オイル 臭気 |
システムとしての 品質(zhì)等級(jí)注2) |
|
|---|---|---|---|---|---|
| 露點(diǎn) | 含有水分量 | ||||
| 大気圧露點(diǎn)：-30～-60℃ 圧力露點(diǎn)：-6～-42℃（0.7MPa時(shí)） |
0.5g～0.02g/m3(ANR) | 0.01μm (捕集効率99.9%) |
Max.0.004mg/? (ANR) 0.0032ppm |
無(wú) | ［1 : 1 : 1］注3) ［1 : 2 : 1］ ［1 : 3 : 1］ |
注1）入口側(cè)のオイルミスト濃度(コンプレッサ吐出濃度)が約30mg/m3(ANR)以下の場(chǎng)合。
注2）ISO8573-1:2010（JIS B8392-1:2012）による圧縮空気品質(zhì)等級(jí)を示し（上記參照）、そのシステムで得られる最高品質(zhì)等級(jí)を表記しています。ただし、入口空気條件により異なります。
注3）特注対応可能（使用條件による）ですのでお問(wèn)合せください。
