産業(yè)用ロボット向機(jī)器

クリーンロボット低真空

※1 真空破壊用エアのクリーン化はされておりません。詳細(xì)は當(dāng)社にお問(wèn)合せください。

クリーンシリーズ以外の機(jī)器の場(chǎng)合、設(shè)置條件（要求クリーン度、使用箇所など）をご確認(rèn)の上ご選定ください。