スリットバルブ XGT
高真空機(jī)器 ? スリットバルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
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?半導(dǎo)體裝置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開(kāi)口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動(dòng)圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大気圧～10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
