フローセンサ PFMV5/PFGV301
スイッチ／センサ／コントローラ ? 電子式フロースイッチ／センサノングリース 窒素（N2）対応機器 ? フロースイッチ
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?微小ワークの吸著確認。
?繰返し精度±2％F.S.
?応答速度5ms以下、耐圧500kPa
?ノングリース、RoHS対応。
?電圧モニタ 一つで全レンジ対応。
?関連機器：サクションフィルタ ZFC050シリーズ
| シリーズ | 定格流量範囲（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0.0～0.1 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
