サーモチラー／高機(jī)能タイプ HRZ
産業(yè)用通信機(jī)器／無(wú)線(xiàn)システム ? 産業(yè)用通信機(jī)器 DeviceNet 対応機(jī)器産業(yè)用通信機(jī)器／無(wú)線(xiàn)システム ? その他 RS232C 対応機(jī)器
産業(yè)用通信機(jī)器／無(wú)線(xiàn)システム ? その他 RS485 対応機(jī)器
溫調(diào)機(jī)器 ? サーモチラー（循環(huán)液溫調(diào)裝置）高機(jī)能タイプ 高機(jī)能インバータタイプ
中國(guó)?臺(tái)灣?韓國(guó)?シンガポール
マレーシア?日本のみ限定出荷品
マレーシア?日本のみ限定出荷品
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?高い溫度安定性、ワイドな溫度レンジ、故障診斷、外部通信など充実裝備で
半導(dǎo)體プロセス裝置に実績(jī)多數(shù)。
?各種安全規(guī)格に対応。
?UL, SEMI規(guī)格適合、CEマーキング。
| シリーズ | 設(shè)定溫度 範(fàn)囲 | 冷卻能力 | 溫度 安定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液（60％） 清水?脫イオン水（純水） |
サーモチラー／高機(jī)能インバータタイプ HRZ
溫調(diào)機(jī)器 ? サーモチラー（循環(huán)液溫調(diào)裝置）産業(yè)用通信機(jī)器／無(wú)線(xiàn)システム ? その他 RS232C 対応機(jī)器
産業(yè)用通信機(jī)器／無(wú)線(xiàn)システム ? その他 RS485 対応機(jī)器
| シリーズ | 設(shè)定溫度 範(fàn)囲 | 冷卻能力 | 溫度 安定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液（60％） 清水?脫イオン水（純水） |
