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太陽電池製造工程向機(jī)器

ソリューション » 業(yè)種別ソリューションのご紹介 » 太陽電池製造工程向機(jī)器 » CVD／スパッタ

薄膜Si系製造工程：CVD／スパッタ

|反射防止膜形成

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反射防止膜をシリコン表面に形成。

クリーン駆動機(jī)器溫度コントロール耐食低真空省配線高真空センサ（検出）

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