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省エネ
業(yè)種?工程別
結(jié)晶Si系製造工程
薄膜Si系製造工程
用途別
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CVD
4
p-i-n層形成
プラズマを印加させ各層を成膜形成する。
クリーン
駆動(dòng)機(jī)器
溫度コントロール
耐食
低真空
省配線
高真空
センサ（検出）
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