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真空レギュレータ 10-IRV

クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機器

    クリーンシリーズ


    ?真空ラインの圧力制御が可能。
    ?一面配管仕様をシリーズ化。
    ?質(zhì)量20％減（従來比）
    ?ワンタッチ管継手內(nèi)蔵。
    ?クリップ固定式により圧力計?デジタル圧力スイッチの著脫が容易。
    ?圧力計?デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能（標(biāo)準(zhǔn)配管仕様のみ）
    ?圧力計?デジタル圧力スイッチの取付角度（60°刻み）変更が容易。
シリーズ管接続口徑設(shè)定圧力 (kPa)
10-IRVφ6，φ8，φ1/4，φ5/16-100～-1.3
10-IRV20φ6，φ8，φ10，φ1/4，φ5/16，φ3/8-100～-1.3

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