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- モジュラF.R.L.
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産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム PROFINET 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム EtherNet/IP 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム EtherCAT 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム IO-Link 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム CC-Link 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム DeviceNet 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 PROFINET 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 EtherNet/IP 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 EtherCAT 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 Modbus TCP 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 ETHERNET POWERLINK 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 CC-Link IE Field 対応機(jī)器
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- 産業(yè)用通信機(jī)器 MECHATROLINK-Ⅲ 対応機(jī)器
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- 産業(yè)用通信機(jī)器 IO-Link 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 PROFIBUS 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 DeviceNet 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 CC-Link 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 AS-interface 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 CompoNet 対応機(jī)器
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- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム PROFINET 対応機(jī)器
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テーマ?業(yè)種別カタログ
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
高真空機(jī)器 ? スリットバルブ
-
?長壽命：300萬回（常溫時(shí)）
?発塵量：1/5以下に低減（従來品比）
?メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
?安全対策
メカ式エンドロック機(jī)構(gòu)採用
-
2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會(huì)社のシステムに移動(dòng)します。
CADデータダウンロード時(shí)にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
取扱説明書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 XGTP 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動(dòng)圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
