|6. 塗布
用途に応じ各種溶剤を塗布。
プロセスポンプ／複動(dòng)ポンプ PA/PAX
プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） ? プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
| シリーズ | 駆動(dòng)方式 | 吐出量 （L/min） | 接液部材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| PA3□□0 | 自動(dòng)運(yùn)転型 | 1～20 | ADC12（アルミニウム） SCS14（ステンレス） |
| PA3□13 | エアオペレート型 | 0.1～12 | ADC12（アルミニウム） SCS14（ステンレス） |
| PAX1□12 | 脈動(dòng)減衰器內(nèi)蔵 自動(dòng)運(yùn)転型 | 0.5～10 | ADC12（アルミニウム） SCS14（ステンレス） |
