|6. 塗布
用途に応じ各種溶剤を塗布。
酸、アルカリ各種薬液雰囲気
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 耐食性向上 | 薬液用エアオペレートバルブ | LV |
| フッ素樹(shù)脂製管継手ハイパーフィッティング | LQ1 | |
| フッ素樹(shù)脂製管継手フレアタイプ | LQ3 | |
| ステンレスシリンダ | CJ5?S / CG5?S | |
| フローティングジョイント（ステンレス） | JS | |
| SUS316ワンタッチ管継手 | KQG | |
| SUS316インサート管継手 | KFG | |
| ステンレススピードコントローラ | ASG | |
| FEPチューブ | TH / TIH | |
| フッ素樹(shù)脂製チューブ | TL / TIL |
溶剤の移送
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 防爆用機(jī)器 | 本質(zhì)安全防爆形5ポートソレノイドバルブ | 51-SY |
| 耐圧防爆形ソレノイドバルブ | 50-VFE / VPE | |
| ※5ポートソレノイドバルブ | SY | |
| ※5ポートソレノイドバルブ | VQC | |
| ダイヤフラム式ポンプ | プロセスポンプ／フッ素樹(shù)脂タイプ | PA/PAP |
| プロセスポンプ | PAF |
※防爆仕様ではありません。非防爆エリアにて使用してください。
調(diào)送液制御
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 省配線(xiàn)システム | シリアル伝送システム | EX120 |
| シリアル伝送システム | EX510 | |
| SUPストップ弁付マニホールド | SS5Y□-X460 | |
| 防爆用機(jī)器 | 本質(zhì)安全防爆形5ポートソレノイドバルブ | 51-SY |
| 耐圧防爆形ソレノイドバルブ | 50-VFE/VPE |
選定のポイントと注意
?電磁弁を長(zhǎng)時(shí)間通電狀態(tài)で使用される場(chǎng)合は低消費(fèi)電力タイプの電磁弁をご使用ください。
?溶剤系雰囲気で使用される場(chǎng)合は、製品品質(zhì)に影響を及ぼす可能性がありますので、機(jī)器仕様、材質(zhì)にご注意ください。
?高溫、溶剤雰囲気等で使用される場(chǎng)合、製品仕様（使用溫度、材質(zhì)等）をご確認(rèn)のうえ選定ください。
?SUPストップ弁付マニホールドの使用により、ライン全體を停止をさせることなく部分的な機(jī)器の交換が可能であり、再稼動(dòng)のスピード化が図ることができます。
?防爆エリアでご使用の場(chǎng)合は防爆用機(jī)器をご選定ください。
?クリーン環(huán)境でご使用の場(chǎng)合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。
薬液の溫度／流量管理
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 溫度コントロール | サーモチラー（スタンダードタイプ） | HRS |
| サーモチラー 恒溫液循環(huán)裝置（高機(jī)能タイプ） | HRZ | |
| フロースイッチ | PFM / PF2A / PF3A7□H / PF3W |
選定のポイントと注意
?ロール?溶剤を一定溫度にコントロールすることで安定した均一な塗布を可能にします。チラーにより高精度な溫調(diào)が可能です。
オゾン対策
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 耐オゾン性向上 | オゾン対策機(jī)器 |
脫気処理
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 高真空バルブ | ステンレス製高真空L型バルブ | XM |
| ステンレス製高真空ストレート型バルブ | XY | |
| 常時(shí)閉型高真空電磁弁 | XSA |
クリーンルーム仕様
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| クリーンルーム用 空気圧機(jī)器 |
クリーンシリーズ | クリーンシリーズ |
異物付著防止／品質(zhì)向上
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 靜電気対策 | イオナイザ | IZS 40 / 41 / 42 |
| クリーンブロー | クリーンエアモジュール | LLB |
