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省エネ
業(yè)種?工程別
結晶Si系製造工程
薄膜Si系製造工程
用途別
耐水
耐薬品?耐純水(フッ素樹脂)
耐ガス
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耐水
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耐薬品?耐純水(フッ素樹脂)
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耐ガス
蓚酸アルマイト処理により塩酸ガスに対する腐食性が向上。
高真空機器
?アルミ製高真空L 型バルブ
XL Series
?アルミ製ワンタッチ著脫高真空L 型バルブ
XLAQ?XLDQ Series
?ステンレス製高真空L 型/ストレート型バルブ
XM/XY Series
?スリットバルブ
XGT Series
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