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5ポートソレノイドバルブ 10-SY

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。

　新規(guī)設備／裝置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の

　使用をご検討ください。

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	音速コンダクタンス：C	シリンダ駆動サイズ	消費電力 (W)
10-SY3000	1.1dm3(s?bar)	φ40	0.35
10-SY5000	2.8dm3(s?bar)	φ63	0.35
10-SY7000	4.5dm3(s?bar)	φ80	0.35
10-SY9000	10dm3(s?bar)	φ100	0.35

5ポートソレノイドバルブ 10-SV

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

※EX500シリーズは、生産の中止を予定しています。

　新規(guī)設備／裝置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の

　使用をご検討ください。

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	音速コンダクタンス：C	シリンダ駆動サイズ	消費電力 (W)
10-SV1000	1.1dm3(s?bar)	φ40	0.6
10-SV2000	2.8dm3(s?bar)	φ63	0.6
10-SV3000	4.5dm3(s?bar)	φ80	0.6
10-SV4000	10dm3(s?bar)	φ100	0.6

4?5ポートソレノイドバルブ 10-SYJ

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。

　新規(guī)設備／裝置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の

　使用をご検討ください。

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	音速コンダクタンス：C	シリンダ駆動サイズ	消費電力 (W)
10-SYJ3000	0.46dm3(s?bar)	φ25	0.35
10-SYJ5000	0.83dm3(s?bar)	φ40	0.35
10-SYJ7000	2.9dm3(s?bar)	φ50	0.35

5ポートソレノイドバルブ 10-SZ

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。

　新規(guī)設備／裝置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の

　使用をご検討ください。

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	音速コンダクタンス：C	シリンダ駆動サイズ	消費電力 (W)
10-SZ3000	0.77dm3(s?bar)	φ32	0.6

5ポートソレノイドバルブ 10-S0700

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

※EX250/500シリーズは、生産の中止を予定しています。

　新規(guī)設備／裝置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の

　使用をご検討ください。

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　機種選定?技術資料　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）

シリーズ	流量特性 1→4/2（P→A/B） C［dm³/（s?bar）］	流量特性 1→4/2（P→A/B） b	流量特性 1→4/2（P→A/B） Cv	シリンダ駆動サイズ	消費電力（W）
10-S0700	0.39	0.39	0.11	φ25	0.35

5ポートソレノイドバルブ 10-VQ

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。

　新規(guī)設備／裝置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の

　使用をご検討ください。

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) C [dm3/(s?bar)]	流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) b	流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) Cv	シリンダ駆動サイズ	消費電力 (W)
10-VQ1000	1.0	0.30	0.25	φ40	0.4 (標準)
10-VQ2000	3.2	0.30	0.80	φ63	0.4 (標準)

5ポートソレノイドバルブ 10-SQ

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	音速コンダクタンス：C	シリンダ駆動サイズ	消費電力 (W)
10-SQ1000	0.83dm3(s?bar)	φ32	1.0
10-SQ2000	2.9dm3(s?bar)	φ63	1.0

4ポートソレノイドバルブ直動ポペット 10-VQD

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	音速コンダクタンス：C	シリンダ駆動サイズ	消費電力 (W)
10-VQD1000	0.19dm3(s?bar)	φ25	2.0

3ポートソレノイドバルブ 10-V100

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	タイプ	音速コンダクタンス：C	消費電力 (W)
10-V100	標準タイプ	0.037dm3(s?bar)	0.35 ★(0.1)
10-V100	大流量タイプ	0.076dm3(s?bar)	1.0

3ポートソレノイドバルブ 10-SYJ

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	音速コンダクタンス：C	消費電力 (W)
10-SYJ300	0.36dm3(s?bar)	0.35
10-SYJ500	1.2dm3(s?bar)	0.35
10-SYJ700	3.0dm3(s?bar)	0.35

3ポートソレノイドバルブ 10-SY

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	タイプ	音速コンダクタンス：C	消費電力 (W)
10-SY100	標準タイプ	★0.14mm2	0.5
10-SY100	大流量タイプ	★0.22mm2	0.5

3ポートソレノイドバルブ 10-S070

クリーン／低発塵 ? 方向制御機器

クリーンシリーズ

品番確認（型式表示方法）

安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3?4?5ポート電磁弁共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	流量特性 C[dm3/(s·bar)]	流量特性 b	流量特性 Cv	消費電力(W)	最高作動圧力： MPa
10-S070	0.042	0.27	0.011	0.5	0.5
10-S070	0.060	0.28	0.016	0.5	0.3
10-S070	0.042	0.27	0.011	0.35	0.3
10-S070	0.060	0.28	0.016	0.35	0.1
10-S070	0.021	0.27	0.006	0.1 (節(jié)電回路付)	0.3
10-S070	0.042	0.28	0.011	0.1 (節(jié)電回路付)	0.1

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フィルム製造工程向機器

|6. 塗布

5ポートソレノイドバルブ 10-SY

5ポートソレノイドバルブ 10-SV

4?5ポートソレノイドバルブ 10-SYJ

5ポートソレノイドバルブ 10-SZ

5ポートソレノイドバルブ 10-S0700

5ポートソレノイドバルブ 10-VQ

5ポートソレノイドバルブ 10-SQ

4ポートソレノイドバルブ直動ポペット 10-VQD

3ポートソレノイドバルブ 10-V100

3ポートソレノイドバルブ 10-SYJ

3ポートソレノイドバルブ 10-SY

3ポートソレノイドバルブ 10-S070

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フィルム製造工程向機器

|6. 塗布

5ポートソレノイドバルブ 10-SY

5ポートソレノイドバルブ 10-SV

4?5ポートソレノイドバルブ 10-SYJ

5ポートソレノイドバルブ 10-SZ

5ポートソレノイドバルブ 10-S0700

5ポートソレノイドバルブ 10-VQ

5ポートソレノイドバルブ 10-SQ

4ポートソレノイドバルブ 直動ポペット 10-VQD

3ポートソレノイドバルブ 10-V100

3ポートソレノイドバルブ 10-SYJ

3ポートソレノイドバルブ 10-SY

3ポートソレノイドバルブ 10-S070

4ポートソレノイドバルブ直動ポペット 10-VQD