縫閥
對(duì)應(yīng)300mm晶片的平行密封型縫閥 XGTP
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?長(zhǎng)壽命：300萬(wàn)次（常溫時(shí)）
?發(fā)塵量：減少至1/5以下（與以前型號(hào)相比）
?維護(hù)性提高
波紋管更換更容易
可通過(guò)頂部拆裝們（訂制規(guī)格）
?安全對(duì)策
采用機(jī)械式端鎖機(jī)構(gòu)
| 系列 | 使用壓力范圍（Pa） | 使用流體 | 門尺寸 （高×寬）（mm） | 動(dòng)作壓力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大氣壓～10-6 | 惰性氣體 | 50×336 | 0.45～0.6 |
縫閥 XGT
| 系列 | 使用壓力范圍（Pa） | 使用流體 | 門尺寸 （高×寬）（mm） | 動(dòng)作壓力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大氣壓～1×10-6 | 惰性氣體類的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
