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- 隔膜泵
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- 工藝氣體元件（特氣閥）
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- 過程控制元件
- 液壓元件
課題?行業(yè)別產(chǎn)品
工藝氣體元件
減壓閥（壓力調(diào)節(jié)器）高純度工藝氣體用 AP/SL/AZ 一般氣體用/AK 背壓閥/BP
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?適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
?主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
?接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。
?外部金屬密封構(gòu)造。
| 系列 | 形式 | 用途 | 主體材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度工藝氣體用 | 一段式減壓閥 | SUS316L 二次熔煉 |
| AP | 高純度工藝氣體用 | 二段式減壓閥 | SUS316L 二次熔煉 |
| AP | 高純度工藝氣體用 | 氣控型減壓閥 | SUS316L 二次熔煉 |
| SL | 高純度工藝氣體用 | 一段式減壓閥 | SUS316L 二次熔煉 |
| AZ | 高純度工藝氣體用 | 一段式減壓閥 | SUS316L |
| AZ | 高純度工藝氣體用 | 氣控型減壓閥 | SUS316L |
| AK | 一般氣體用 | 一段式減壓閥 | SUS316 |
| AK | 一般氣體用 | 二段式減壓閥 | SUS316 |
| AK | 一般氣體用 | 氣控型減壓閥 | SUS316 |
| BP | 高純度用 | 背壓閥 | SUS316 |
| BP | 一般氣體用 | 背壓閥 | SUS316 |
