氣源處理元件
直通型空氣過(guò)濾器 ZFC5□/7□-X05
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?使用壓力范圍：－100kPa～1.0MPa
1臺(tái)即可用于正壓，也可用于真空
?帶鎖緊機(jī)構(gòu)
正壓時(shí)，防止由于松動(dòng)造成的零部件飛出
?密封（FKM＋禁油處理）：-X05（訂制品）
注）供給壓力0.1MPa、差圧30kPa
| 系列 | 適合管子外徑 公制 | 適合管子外徑 英制 | 流量 L/min（ANR）注） 正壓 | 流量 L/min（ANR）注） 真空壓 | 過(guò)濾精度 （μm） |
|---|---|---|---|---|---|
| ZFC5□-X05 | φ4、φ6 | φ5/32''、φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5 |
| ZFC7□-X05 | φ6、φ8 、φ10、φ12 | φ1/4''、φ5/16''、φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5 |
潔凈型氣體過(guò)濾器 SF
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?采用可更換濾芯的夾頭型。
(SFA100?200?300，SFB100)
?半導(dǎo)體工藝用的小型一次性過(guò)濾器。
(SFB300，SFC100)
| 形式 | 系列 | 使用壓力 | 過(guò)濾精度 |
|---|---|---|---|
| 夾頭型 圓盤(pán)式 | SFA100?200?300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 夾頭型 直通式 | SFB100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 直通式 | SFB300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 多盤(pán)型 | SFC100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
潔凈型空氣過(guò)濾器 中空類(lèi)濾芯 SFD
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?內(nèi)置中空類(lèi)濾芯
?壓降：0.03MPa（1次壓0.7MPa、最大流量時(shí)）
?減少了污染環(huán)境的化學(xué)物質(zhì)，符合RoHS
?金屬殼體型(訂制)
不銹鋼殼體、鋁制殼體
| 系列 | 種類(lèi) | 額定流量 L/min (ANR) (進(jìn)口壓力 0.7 MPa時(shí)) | 使用壓力 | 過(guò)濾精度 |
|---|---|---|---|---|
| SFD100 | 一次性 （不可更換濾芯） | ～100L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm （捕捉效率：99.99%） |
| SFD110 | 一次性 （不可更換濾芯） | ～120L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm （捕捉效率：99.99%） |
| SFD200 | 卡盒型 （可更換濾芯） | ～500L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm （捕捉效率：99.99%） |
潔凈型空氣模塊 LLB
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?將潔凈元件模塊化（削減配管工時(shí)／省空間）。
可輕松地得到潔凈空氣。
?過(guò)濾精度：0.01μm（捕捉效率99.99％）。
?接觸流體部分：無(wú)潤(rùn)滑脂、無(wú)硅。
?在潔凈室內(nèi)進(jìn)行雙重捆包后出廠。
?有24種組合。
注）入口空氣條件 ISO 8573-1 品質(zhì)等級(jí) 相當(dāng)于1.4.1～1.6.1。
| 系列 | 使用流體 | 設(shè)定壓力 | 流量范圍 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB3 | 潔凈空氣 N2氣體 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
| LLB4 | 潔凈空氣 N2氣體 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
潔凈型空氣模塊 LLB-X100
| 系列 | 使用流體 | 流量范圍L/min（ANR） |
|---|---|---|
| LLB1-525 | 潔凈空氣 N2氣體 | 0.5?25 |
| LLB1-550 | 潔凈空氣 N2氣體 | 1?50 |
| LLB1-511 | 潔凈空氣 N2氣體 | 2?100 |
