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產(chǎn)品目錄

產(chǎn)品信息 ?  產(chǎn)品目錄  ? 無(wú)潤(rùn)滑脂 氮?dú)猓∟2）對(duì)應(yīng)元件  ? 工藝氣體元件

工藝氣體元件

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減壓閥（壓力調(diào)節(jié)器）　高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ

    ?適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
    ?主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
    ?接觸氣體部分經(jīng)過(guò)電解研磨處理。
    ?外部金屬密封構(gòu)造。
系列形式用途主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AP/SL一段式管路用（小型）SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
AP/SL一段式管路用SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP/SL一段式大宗氣體用SUS316L面密封接頭
管焊接		1/2''，3/4''，1''
AP/SL一段式一次側(cè)高壓用SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP/SL一段式負(fù)壓調(diào)節(jié)SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP二段式一次側(cè)高壓用SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
AZ一段式管路用SUS316L面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''
AZ一段式一次側(cè)高壓用SUS316L面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''
AZ一段式負(fù)壓調(diào)節(jié)SUS316L面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''

減壓閥（壓力調(diào)節(jié)器）／背壓閥　一般氣體用 AK/BP

    ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
    ?主體材質(zhì)可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。
系列型號(hào)用途主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AK一段式氣路用SUS316
或黃銅		NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭		1/4''，3/8''
1/2''
AK一段式一次側(cè)高壓用SUS316
或黃銅		NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭		1/4''，3/8''
1/2''
AK一段式負(fù)壓調(diào)節(jié)SUS316
或黃銅		NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭		1/4''，3/8''
1/2''
AK二段式一次側(cè)高壓用SUS316
或黃銅		NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭		1/4''
BP背壓閥―SUS316
或黃銅		NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭		1/4''

減壓閥／一般氣體用 AK1000T

    ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)均可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
    ?產(chǎn)品體型小、重量輕。
    　質(zhì)量：0.52kg、高：97.5mm。
    ?內(nèi)部容積小，其體積存量少。
    ?配管擴(kuò)展品
    　可從壓縮接頭、NPT內(nèi)螺紋、Rc螺紋中選擇。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AK1000T手動(dòng)型SUS316壓縮接頭
Rc, NPT		1/4''，3/8''

膜片閥　高純度工藝氣體用 AP

    ?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
    ?可作為氣體的切斷閥使用。
    ?接觸氣體部分無(wú)彈簧，驅(qū)動(dòng)部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AP氣控型SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP小型SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''

隔膜閥　高純度工藝氣體用 AZ

    ?用于精密洗凈及潔凈室組裝。
    ?全部產(chǎn)品均經(jīng)過(guò)了氦氣泄漏檢測(cè)。
    ?符合SEMI規(guī)格
    ?采用方便作業(yè)的鍛造主體。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AZ氣控型SUS316L面密封接頭
管子焊接		1/4''
3/8''
1/2
AZ手動(dòng)型SUS316L面密封接頭
管子焊接		1/4''
3/8''
1/2

膜片閥　一般氣體用 AK

    ?全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。
    ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
    ?可用于精密洗凈。
    ?降低執(zhí)行器的高度，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的小型、輕量化（AK3542, 4542）。
    ?操做通口為M5螺紋（AK3542, 4542）。
    ?手輪構(gòu)造經(jīng)過(guò)改良、實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的小型、輕量化（AK3652, 4652）。
    ?采用有凹凸的圓形手輪，更便于操作和確認(rèn)（AK3652, 4652）。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AK氣控型SUS316卡套式接頭
Rc, R, NPT		1/4''，3/8''
AK手動(dòng)型SUS316卡套式接頭
Rc, R, NPT		1/4''，3/8''

單向閥／真空發(fā)生器／流量開(kāi)關(guān) AP

    ［單向閥］
    ?防止背壓使流體逆流。
    ?構(gòu)造簡(jiǎn)單，內(nèi)部的可動(dòng)零部件僅為O形圈。
    ?采用無(wú)彈簧的構(gòu)造，可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒，降低下游的壓力變動(dòng)。
    ［真空發(fā)生器］
    ?真空發(fā)生器。
    ?用于更換氣罐時(shí)，排出配管中殘余的氣體。
    ［流量開(kāi)關(guān)］
    ?檢測(cè)配管破裂等造成的過(guò)剩流量。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AP單向閥SUS316L二次熔煉面密封接頭
管子焊接		1/4''，3/8''
AP真空發(fā)生器SUS316L面密封接頭
管子焊接		1/4''，3/8''
AP流量開(kāi)關(guān)SUS316L二次熔煉
SUS316L		面密封接頭
管子焊接		1/2''，3/4''

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