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課題?行業(yè)別產(chǎn)品
工藝氣體元件
隔膜閥 高純度工藝氣體用 AP
-
?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
?可作為氣體的切斷閥使用。
?接觸氣體部分無彈簧，驅(qū)動(dòng)部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。
| 系列 | 名稱 | 形式 | 主體材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度工藝氣體用 | 氣控型隔膜閥 | SUS316L 二次熔煉 |
| AP | 高純度工藝氣體用 | 手控型隔膜閥 | SUS316L 二次熔煉 |
| AP | 高純度工藝氣體用 | 計(jì)量閥 | SUS316L 二次熔煉 |
| AZ | 高純度工藝氣體用 | 氣控型隔膜閥 | SUS316L |
| AZ | 高純度工藝氣體用 | 手控型隔膜閥 | SUS316L |
| AZ | 高純度工藝氣體用 | 計(jì)量閥 | SUS316L |
| AK | 一般氣體用 | 氣控型隔膜閥 | SUS316 |
| AK | 一般氣體用 | 手控型隔膜閥 | SUS316 |
| AK | 一般氣體用 | 計(jì)量閥 | SUS316 |
