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氣源處理元件

潔凈型氣體過濾器 SF

    ?采用可更換濾芯的夾頭型。
     (SFA100?200?300,SFB100)
    ?半導體工藝用的小型一次性過濾器。
     (SFB300,SFC100)
形式系列使用壓力過濾精度
夾頭型
圓盤式
SFA100?200?300最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
夾頭型
直通式
SFB100最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
直通式
SFB300最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
多盤型
SFC100最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)

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