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高真空閥

不銹鋼制高真空L型/直通型閥 XM/XY

    ?不滯留氣體的精密鑄造一體結構
    ?與鋁制高真空L型閥XL系列有安裝互換性(XM系列)

    注)直線型無尺寸16。
系列操作方式軸密封
方式
閥形式材質法蘭
尺寸
XMA/XYA氣控式波紋管密封單作用
(N.C.)
主體:SCS13(相當于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~80 注)
XMC/XYC氣控式波紋管密封雙作用主體:SCS13(相當于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~80 注)
XMD/XYD氣控式波紋管密封
O形圈密封
單作用
(N.C.)
主體:SCS13(相當于SUS304)
波紋管:SUS316L
25~80
XMH/XYH氣控式波紋管密封手動主體:SCS13(相當于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~50 注)

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