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高真空閥

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鋁制高真空L型閥 XLA/C/F/G

    ?采用鋁制主體
     均一的烤焙溫度
     輕量·緊湊
     氣體溢出少
     重金屬污染少
    ?可更換波紋管
系列操作方式閥形式軸密封
方式
用途法蘭
尺寸
XLA-2氣控式單作用
(N.C.)
波紋管密封無塵
清潔化
16~80
XLAV-2(帶電磁閥)氣控式單作用
(N.C.)
波紋管密封無塵
清潔化
16~80
XLC-2氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化
16~80
XLF-2氣控式單作用
(N.C.)
O形圈密封高速動作
高動作次數(shù)
16~80
XLFV-2(帶電磁閥)氣控式單作用
(N.C.)
O形圈密封高速動作
高動作次數(shù)
16~80
XLG-2氣控式雙作用O形圈密封高速動作
高動作次數(shù)
16~80

鋁材質(zhì)高真空L型閥 XLA/C-100?160(-1)-X152

    ?波紋管耐久性提升(法蘭尺寸100、160)
    ?壽命:200萬次
    ?可實現(xiàn)裝置的省空間化
     無排氣方向限制(閥體側(cè)←→波紋管側(cè) 兩方向均可)
     安裝姿勢的自由度提升
    ?輕量、緊湊
系列操作方式閥形式軸密封方式用途法蘭尺寸
LA-100?160-X152氣控式單作用
(N.C.)
波紋管密封無塵
清潔化
100,160
XLC-100?160-1-X152氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化
100,160

鋁制高真空L型閥 XL□

    ?耐氟性強(qiáng)
    ?氣體溢出少
    ?重金屬污染小

    ※法蘭尺寸16?80的XLA/C/F/G已進(jìn)行了產(chǎn)品變更。
      請選擇XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
系列操作方式閥形式軸密封
方式
用途法蘭
尺寸
XLA氣控式單作用
(N.C.)
波紋管密封無塵
清潔化
16~160
XLAV(帶電磁閥)氣控式單作用
(N.C.)
波紋管密封無塵
清潔化
16~160
XLC氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化
16~160
XLCV(帶電磁閥)氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化
16~80
XLF氣控式單作用
(N.C.)
O形圈密封高速動作
高動作次數(shù)
16~160
XLFV(帶電磁閥)氣控式單作用
(N.C.)
O形圈高速動作
高動作次數(shù)
16~160
XLG氣控式雙作用O形圈高速動作
高動作次數(shù)
16~160
XLGV(帶電磁閥)氣控式雙作用O形圈高速動作
高動作次數(shù)
16~80
XLD氣控式單作用
(N.C.)
波紋管密封
O形圈密封
防止揚塵
防止泵過載
25~160
XLDV(帶電磁閥)氣控式單作用
(N.C.)
波紋管密封
O形圈密封
防止揚塵
防止泵過載
25~160
XLH手動式手動波紋管密封無塵
清潔化
16~50
XLS電磁式單作用
(N.C.)
(波紋管平衡)無需空氣
可搬運裝置用
16,25

鋁制快速裝卸型 高真空L型閥 XLAQ?XLDQ

    ?快速裝卸(無需工具)。
系列操作方式軸密封
方式
閥形式材質(zhì)法蘭
尺寸
XLAQ氣控式波紋管密封單作用
(N.C.)
主體:鋁
波紋管:SUS316L
16~50
XLDQ氣控式波紋管密封
O形圈密封
單作用
(N.C.)
主體:鋁
波紋管:SUS316L
40,50

不銹鋼制高真空L型/直通型閥 XM/XY

    ?不滯留氣體的精密鑄造一體結(jié)構(gòu)
    ?與鋁制高真空L型閥XL系列有安裝互換性(XM系列)

    注)直線型無尺寸16。
系列操作方式軸密封
方式
閥形式材質(zhì)法蘭
尺寸
XMA/XYA氣控式波紋管密封單作用
(N.C.)
主體:SCS13(相當(dāng)于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~80 注)
XMC/XYC氣控式波紋管密封雙作用主體:SCS13(相當(dāng)于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~80 注)
XMD/XYD氣控式波紋管密封
O形圈密封
單作用
(N.C.)
主體:SCS13(相當(dāng)于SUS304)
波紋管:SUS316L
25~80
XMH/XYH氣控式波紋管密封手動主體:SCS13(相當(dāng)于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~50 注)

常閉型高真空電磁閥 XSA

    ?最低使用壓力:1×10-6Pa(abs)
    ?泄漏量:內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
    ?備有2種接頭、內(nèi)螺紋
    ?消耗功率:最大減少25%
    ?重量:最大減輕18% 0.5kg→0.41kg
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XSA常閉空氣
惰性氣體
面密封接頭
卡套式接頭
1/4, 3/8
XSA常閉空氣
惰性氣體
Rc, NPT內(nèi)螺紋1/8, 1/4, 3/8

平穩(wěn)通氣閥 XVD

    ?閥和針閥一體化的結(jié)構(gòu),配管空間減少1/4(與以前產(chǎn)品相比)
    ?密封部采用金屬膜片,微粒大幅減少
    ?可同時對初期供氣、主供氣進(jìn)行流量調(diào)整
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD常閉
(加壓打開?彈簧密封)
氮氣、空氣、
惰性氣體等
VCR?
Swagelok?
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