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クリーンガスフィルタ?エアフィルタ

クリーンガスフィルタ SF

    ?エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
    　(SFA100?200?300，SFB100)
    ?半導(dǎo)體プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
    　(SFB300，SFC100)
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會(huì)社のシステムに移動(dòng)します。
    CADデータダウンロード時(shí)にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • クリーンガスフィルタ SF
    取扱説明書(shū)
    タイプ シリーズ 検索結(jié)果を表示
    カートリッジタイプ
    ディスク形    		SFA100?200?300検索結(jié)果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形    		SFB100検索結(jié)果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形    		SFB200検索結(jié)果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    ストレート形    		SFB300検索結(jié)果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    多段ディスク形    		SFC100検索結(jié)果を表示
タイプシリーズ使用圧力ろ過(guò)度
カートリッジタイプ
ディスク形		SFA100?200?300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
カートリッジタイプ
ストレート形		SFB100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
カートリッジタイプ
ストレート形		SFB200Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		120μm
ディスポーザブルタイプ
ストレート形		SFB300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
ディスポーザブルタイプ
多段ディスク形		SFC100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）

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