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Product Information ?  WEB Catalog  ? Clean Series/Low-Particle Generation  ? Clean Gas Filters/Air Filters

Clean Gas Filters/Air Filters

Clean Air Module LLB

    ?Modularized clean equipment (Reduced piping labor/Space saving)
    　Makes clean air easily available
    ?Nominal filtration rating: 0.01 μm (Filtration efficiency: 99.99%)
    ?Wetted parts: Grease-free, Silicone-free
    ?Assembled in a clean room, Shipped and packed in double packaging
    ?24 combinations are available.

    　Note) Inlet air conditions ISO 8573-1 Quality grade: Equivalent to 1.4.1 to 1.6.1
SeriesFluidSet pressureFlow range L/min (ANR)
LLB3Clean air
N2 gas Note)		0.05 to 0.4 MPa5 to 100
LLB4Clean air
N2 gas Note)		0.05 to 0.4 MPa50 to 500

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