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検出スイッチ

デジタルフロースイッチ PFM7

    ?アルゴン(Ar)、二酸化炭素(CO2)、混合ガス(Ar+CO2)対応
    ?シールドガスの流量管理、數(shù)値管理が可能
    ?設(shè)定最小単位:0.01L/min
    ?繰り返し精度:±1%F.S.
    ?ノングリース
    ?流量調(diào)整弁一體化(省配管、省スペース)
    ?応答時(shí)間:50msec?0.5sec?1sec?2secより選択可能
シリーズ適用流體定格流量範(fàn)囲(L/min)
PFM7乾燥空気、N2、Ar、CO20.2~10(0.2~5)
0.5~25(0.5~12.5)
1~50(1~25)
2~100(2~50)
(?。─螩O2の場(chǎng)合
PFM7-X731Ar+CO2混合ガス対応0.2~7
0.5~25
0.5~20
1.0~50
1.0~40
2~100
2~90
2~80

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