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その他

大気開放弁付真空バルブ XLJ

    ?チャンバ內(nèi)への粗引きポンプ(ロータリポンプ)の油の逆流防止
    ?大気開放弁一體構(gòu)造による配管工數(shù)削減
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
フランジ
サイズ
XLJ電磁式常時(shí)閉?真空パイロットOリングシール25,40

製品特長

チャンバ內(nèi)への粗引きポンプ(ロータリポンプ)の油の逆流防止

大気開放弁一體構(gòu)造による配管工數(shù)削減

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