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その他
大気開放弁付真空バルブ XLJ
-
?チャンバ內(nèi)への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
?大気開放弁一體構(gòu)造による配管工數(shù)削減
大気開放弁付真空バルブ XLJ
取扱説明書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 XLJ 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XLJ | 電磁式 | 常時閉?真空パイロット | Oリングシール | 25，40 |
製品特長
チャンバ內(nèi)への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
大気開放弁一體構(gòu)造による配管工數(shù)削減
