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製品情報 ?  WEBカタログ  ?  ノングリース 窒素(N<sub>2</sub>ノングリース 窒素(N2)対応機器  ? プロセスガス用機器

プロセスガス用機器

ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP

    ?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ?ガスの遮斷弁として使用。
    ?接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
シリーズ名稱形式ボディ材質(zhì)
AP高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
AK一般ガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用メータリングバルブSUS316

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