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| シリーズ | 使用流體 | 設(shè)定圧力 | 流量範囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB4 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
| LLB3 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
