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プロセスガス用機(jī)器

減圧弁(圧力調(diào)整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

    ?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ?ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ?接ガス部電解研磨処理。
    ?外部メタルシール構(gòu)造。
シリーズ名稱形式ボディ材質(zhì)
AP高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス二段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
SL高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
AZ高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
AK一般ガス用一段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用二段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用エアオペレート式減圧弁SUS316
BP高純度用背圧弁SUS316
BP一般ガス用背圧弁SUS316

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