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ノングリース 窒素（N<sub>2</sub>ノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器
? プロセスガス用機(jī)器
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テーマ?業(yè)種別カタログ
プロセスガス用機(jī)器
減圧弁（圧力調(diào)整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
-
?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
?ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
?接ガス部電解研磨処理。
?外部メタルシール構(gòu)造。
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2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會(huì)社のシステムに移動(dòng)します。
CADデータダウンロード時(shí)にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。 減圧弁（圧力調(diào)整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
取扱説明書
シリーズ 形式 検索結(jié)果を表示 AP 一段式減圧弁 検索結(jié)果を表示 AP 二段式減圧弁 検索結(jié)果を表示 AP エアオペレート式減圧弁 検索結(jié)果を表示 SL 一段式減圧弁 検索結(jié)果を表示 AZ 一段式減圧弁 検索結(jié)果を表示 AZ エアオペレート式減圧弁 検索結(jié)果を表示 AK 一段式減圧弁 検索結(jié)果を表示 AK 二段式減圧弁 検索結(jié)果を表示 AK エアオペレート式減圧弁 検索結(jié)果を表示 BP 背圧弁 検索結(jié)果を表示 BP 背圧弁 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 名稱 | 形式 | ボディ材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | 二段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| SL | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | 一段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | 二段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレート式減圧弁 | SUS316 |
| BP | 高純度用 | 背圧弁 | SUS316 |
| BP | 一般ガス用 | 背圧弁 | SUS316 |
製品特長
減圧弁（圧力調(diào)整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series
半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構(gòu)造。
減圧弁（圧力調(diào)整器）／背圧弁 一般ガス用 AK/BP Series
半導(dǎo)體から一般産業(yè)まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流體に応じボディ材質(zhì)はSUS316または黃銅の選択が可能
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP Series
半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮斷弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動(dòng)部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP Series
チェック弁
背圧による流體の逆流を防止。內(nèi)部可動(dòng)部品はＯリングのみのシンプル構(gòu)造。スプリングレス構(gòu)造により振動(dòng)、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側(cè)の圧力変動(dòng)を抑制。
バキュームジェネレータ
真空発生機(jī)器。ガスボンベ交換時(shí)、配管中に殘った不要なガスの排出用途に対応。
フロースイッチ
配管の破斷等による過剰流量の検出
