WEBカタログ
製品一覧
- エアマネジメントシステム
- 方向制御機器
- エアシリンダ
- ロータリアクチュエータ／エアチャック
- 電動アクチュエータ／電動シリンダ
- 真空用機器
- 協(xié)働ロボット用グリッパ
- コンパクトコンプレッサ
- 圧縮空気清浄化機器
- モジュラF.R.L.／圧力制御機器
- モジュラF.R.L.
- 圧力制御機器
- 増圧弁
- 潤滑機器
- 管継手＆チューブ
- 駆動制御機器
- サイレンサ／エキゾーストクリーナ／ブローガン／圧力計
- スイッチ／センサ／コントローラ
- 靜電気対策機器／イオナイザー(除電機器)
-
産業(yè)用通信機器／無線システム
- 産業(yè)用通信機器／無線システム PROFINET 対応機器
- 産業(yè)用通信機器／無線システム EtherNet/IP 対応機器
- 産業(yè)用通信機器／無線システム EtherCAT 対応機器
- 産業(yè)用通信機器／無線システム IO-Link 対応機器
- 産業(yè)用通信機器／無線システム CC-Link 対応機器
- 産業(yè)用通信機器／無線システム DeviceNet 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 PROFINET 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 EtherNet/IP 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 EtherCAT 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 Modbus TCP 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 ETHERNET POWERLINK 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 CC-Link IE Field 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 SSCNET III 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 MECHATROLINK-Ⅲ 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 PROFIsafe 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 IO-Link 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 PROFIBUS 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 DeviceNet 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 CC-Link 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 AS-interface 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 CompoNet 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 Interbus 対応機器
- 産業(yè)用通信機器 MECHATROLINK-Ⅱ 対応機器
- その他 RS232C 対応機器
- その他 RS485 対応機器
- 産業(yè)用通信機器／無線システム PROFINET 対応機器
- 流體制御用機器
- 薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ
- プロセスポンプ（ダイヤフラムポンプ）
- 溫調機器
- プロセスガス用機器 AP Tech
- 高真空機器
- 工業(yè)用フィルタ/焼結金屬エレメント
- 計裝用補助機器
- 油圧機器
テーマ?業(yè)種別カタログ
スリットバルブ
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
-
?長壽命：300萬回（常溫時）
?発塵量：1/5以下に低減（従來品比）
?メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
?安全対策
メカ式エンドロック機構採用
-
2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
取扱説明書
シリーズ 検索結果を表示 XGTP 検索結果を表示
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
製品特長
長壽命：300 萬回（常溫時）
発塵量：1/5 以下に低減（従來品比）
平行シール構造採用により低発塵、長壽命化
ゲート上昇?下降の直線動作とゲート開閉のクランプを平行にシールする構造。
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
関連機器
