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プロセスガス用機(jī)器

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減圧弁(圧力調(diào)整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

    ?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ?ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ?接ガス部電解研磨処理。
    ?外部メタルシール構(gòu)造。
シリーズ名稱形式ボディ材質(zhì)
AP高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス二段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
SL高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
AZ高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
AK一般ガス用一段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用二段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用エアオペレート式減圧弁SUS316
BP高純度用背圧弁SUS316
BP一般ガス用背圧弁SUS316

ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP

    ?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ?ガスの遮斷弁として使用。
    ?接ガス部にスプリングがなく、駆動(dòng)部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
シリーズ名稱形式ボディ材質(zhì)
AP高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
AK一般ガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用メータリングバルブSUS316

チェック弁/バキュームジェネレータ/フロースイッチ AP/AZ 一般ガス用/AK

    [チェック弁]
    ?背圧による流體の逆流を防止。
    ?內(nèi)部可動(dòng)部品はOリングのみのシンプル構(gòu)造。
    ?スプリングレス構(gòu)造により振動(dòng)、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側(cè)の圧力変動(dòng)を抑制。
    [バキュームジェネレータ]
    ?真空発生機(jī)器。
    ?ガスボンベ交換時(shí)、配管中に殘った不要なガスの排出用途に対応。
    [フロースイッチ]
    ?配管の破斷等による過剰流量の検出。
シリーズ名稱ボディ材質(zhì)
APチェック弁SUS316Lダブルメルト
APバキュームジェネレータSUS316Lダブルメルト
APフロースイッチSUS316Lダブルメルト

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