小型2?3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
小型直動(dòng)2ポートソレノイドバルブ VDW
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?空気?中真空?水用。
?ボディ材質(zhì)：Al、樹(shù)脂（PPS）、黃銅、SUS
?ワンタッチ管継手付（樹(shù)脂ボディ）を用意。
?IP65
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口徑 | オリフィス徑 |
|---|---|---|---|
| VDW10/20 | N.C. | φ3.2，φ4，φ6，M5，1/8 | φ1～φ3.2 |
水?空気用小型直動(dòng)2/3ポートソレノイドバルブ VDW
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※VDW10/20シリーズは2012年12月生産終了しました。
NewVDW10/20シリーズをご選定願(yuàn)います。
※ただし、VDW10/20シリーズのマニホールドは除きます。
※VDW30シリーズは2015年7月生産終了しました。
VX21シリーズをご選定願(yuàn)います。
※3ポート弁VDW200/300は生産を継続しております。
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口徑 | オリフィス徑 (mmφ) |
|---|---|---|---|
| VDW10/20/30 | N.C. | M5～1/4 (8A) | 1～4 |
| VDW200/300 | C.O. | M5～1/4（8A） | 1～4 |
水?空気用小型軽量2ポートソレノイドバルブ VDW-XF
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?小型、軽量樹(shù)脂ボディ（PPS）
?IP65
?消費(fèi)電力：3W（標(biāo)準(zhǔn)）、0.5W（節(jié)電回路付）
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口徑 | オリフィス徑（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VDW30/40-XF | N.C. | クイックファスナーP7，P8 φ4，φ6，φ8，φ10 | 1～6 |
高速2ポートバルブ SX10
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?高速?gòu)甏穑篛N時(shí) 0.45ms、OFF時(shí) 0.4ms(±0.05ms)
?長(zhǎng)壽命 50億回以上
?高頻度 1200Hz
?薄型 9mm
?低消費(fèi)電力 4W
| シリーズ | 流量 | 消費(fèi)電力 (W) | 最高作動(dòng)頻度 (Hz) |
|---|---|---|---|
| SX10 | 50 | 80 40 10 4 | 1200 1000 550 350 |
| SX10 | 100 | 80 40 10 4 | 650 550 300 200 |
| SX10 | 150 | 80 40 10 4 | 600 500 250 150 |
低背型2?3ポートソレノイドバルブ SX90/090
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?コンパクト
全長(zhǎng)：約38mm(2ポート)、54mm(3ポート)
バルブ幅?高さ：10mm
質(zhì)量：10g(2ポート)、20g(3ポート)
?大流量
C［dm3/（s·bar）］：0.25(2ポート)、0.5(3ポート)
流量［L/min（ANR）］：45(2ポート)、90(3ポート) (0.2MPa時(shí))
| シリーズ | 弁構(gòu)造 | C［dm3/（s·bar）］ | 流量［L/min（ANR）］ 0.2MPa時(shí) | 切換方式 |
|---|---|---|---|---|
| SX91 | 2ポート 直動(dòng)ポペット弁 | 0.25 | 45 | ノーマルクローズ |
| SX92 | 2ポート 直動(dòng)ポペット弁 | 0.12 | 22 | ユニバーサル |
| SX090 | 3ポート 直動(dòng)ポペット弁 | 0.5 | 90 | ユニバーサル |
乾燥エア用パイロット式2ポートソレノイドバルブ VQ
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?高頻度追従
高速?gòu)甏?ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）
?ワンタッチ管継手內(nèi)蔵で簡(jiǎn)単な配管作業(yè)
?DINコネクタタイプ 耐塵、防噴流形（IP65）対応可能
?ワークのエアブロー、吹き飛ばし
?マニホールド型式：VV2Q22，VV2Q32
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口徑 | オリフィス徑（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VQ20 | N.C. | φ6～φ12 | 3.4 |
| VQ30 | N.C. | φ6～φ12 | 4.8 |
省エアインパクトブローバルブ IBV
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?高いピーク圧力で衝撃力増大。
?瞬間的なエアブローでCO2／空気消費(fèi)量&作業(yè)時(shí)間を大幅削減
ピーク圧力：2～3倍以上
CO2空気消費(fèi)量：93%削減
作業(yè)時(shí)間：97%削減
| シリーズ | 管接続口徑 | 使用圧力範(fàn)囲 |
|---|---|---|
| IBV10 電磁弁搭載形 | IN：3/8 OUT：1/4 | 0.15?0.7MPa |
| IBV11 エアオペレート形 | IN：3/8 OUT：1/4 パイロットポート：1/8 | 0.1?0.5MPa |
パルスブローバルブ AXTS040-X202
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?繰返し衝突するエアのピーク圧力により
効率的なエアブローが可能
?CO2排出量（空気消費(fèi)量）：50%削減
?パルス発生用の制御不要
エアを供給するだけでパルスブローが可能！
?パイロット弁內(nèi)蔵構(gòu)造により安定したブローが可能
| シリーズ | 弁構(gòu)造 | 切換方式 | 周波數(shù)調(diào)整幅 |
|---|---|---|---|
| AXTS040□-X202 | メタルシール | 內(nèi)部パイロット仕様 | 1?12Hz |
パルスブローバルブ AXTS040□-□□-X2
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?繰り返し衝突するエアのピーク圧力により
効率的なエアブローが可能
?空気消費(fèi)量50%以上削減
?パルス発生用の制御不要
エアを供給するだけでパルスブローが可能！
| シリーズ | 弁構(gòu)造 | 切換方式 | 周波數(shù)調(diào)整幅 |
|---|---|---|---|
| AXTS040□-2□-X2 | メタルシール | 內(nèi)部パイロット仕様 | 1?5Hz |
| AXTS040□-3□-X2 | メタルシール | 外部パイロット仕様 | 1?8Hz |
小型薬液用直動(dòng)2?3ポートソレノイドバルブ LVM
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?低発塵、禁油、メタルフリー ※接液部
?アイソレイト構(gòu)造
ダイヤフラムにより使用流體領(lǐng)域からソレノイド駆動(dòng)部を隔離。
?消費(fèi)電力：1.0W以下（省電力回路付）
?容積変化量（ポンピングボリューム）：0.01μL以下
| シリーズ | 弁構(gòu)造 | 弁形式 | 使用圧力範(fàn)囲 | オリフィス徑（mm） |
|---|---|---|---|---|
| LVM07 ベース配管形 | 直動(dòng)ロッカータイプ | N.C. | -75kPa?0.1MPa | 0.8 |
| LVM09 直接配管形 ベース配管形 | 直動(dòng)ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa?0.2MPa | 1(直接配管) 1.1(ベース配管) |
| LVM10 直接配管形 ベース配管形 | 直動(dòng)ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa?0.25MPa | 1.4 |
| LVM15 直接配管形 ベース配管形 | 直動(dòng)ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa?0.25MPa (最大0.6MPa) | 1.6 1(高圧タイプ) |
| LVM20 直接配管形 ベース配管形 | 直動(dòng)ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa?0.3MPa (直接配管は0.25 MPa) | 2 |
| LVM1□ 直接配管形 ベース配管形 | 直動(dòng)ポペットタイプ | N.C. | 0?0.25MPa | 1.5 |
| LVM3□ 直接配管形 ベース配管形 | 直動(dòng)ポペットタイプ | N.C. | ?90kPa?0.2MPa | 5 |
直動(dòng)形2?3ポートアイソレイトバルブ LVMK20/200
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?低発塵、禁油、メタルフリー
?使用流體：空気、水、脫イオン水(純水)、希釈液、洗浄液
?アイソレイト構(gòu)造
仕切りパッキンにより使用流體領(lǐng)域からソレノイド駆動(dòng)部を隔離。
?簡(jiǎn)単配管
?液溜り防止
?流量調(diào)整不要
| シリーズ | 弁形式 | 配管方向 | 接液部材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| LVMK | N.C. ユニバーサル | 下配管 橫配管 | ボディ：PPS パッキン：EPDM, FKM |
ピンチバルブ LPV
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?3ポートタイプ追加 [New]
弁形式
片側(cè)N.C.常時(shí)チューブクランプ
片側(cè)N.O.常時(shí)チューブアンクランプ
?コンタミの侵入に強(qiáng)く、バルブトラブル低減
?適応チューブ
シリコーン、PharMed?BPT
?消費(fèi)電力：2.0W
?小型：バルブ幅20mm
?チューブ交換（脫著）が容易
| シリーズ | 切換方式 | 弁形式 | 適用チューブ |
|---|---|---|---|
| LPV | 直動(dòng)形ソレノイド | N.C. N.O. | シリコーン、PharMed?BPT 「硬度64（ショアA）以下（目安）」 |
減圧弁（圧力調(diào)整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
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?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
?ボディ材質(zhì)はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
?接ガス部電解研磨処理。
?外部メタルシール構(gòu)造。
安全上のご注意 プロセスガス用機(jī)器/共通注意事項(xiàng) バリエーション 推奨機(jī)種 技術(shù)資料/用語(yǔ)解説 特定開(kāi)発品情報(bào) グリーン対応（RoHS）
| シリーズ | 名稱 | 形式 | ボディ材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | 二段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| SL | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | 一段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | 二段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレート式減圧弁 | SUS316 |
| BP | 高純度用 | 背圧弁 | SUS316 |
| BP | 一般ガス用 | 背圧弁 | SUS316 |
常時(shí)閉型高真空電磁弁 XSA
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?最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
?リーク量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
?2種の継手、めねじを用意
?消費(fèi)電力：最大25％削減
?質(zhì)量：最大18％削減 0.5kg→0.41kg
| シリーズ | 弁形式 | 使用流體 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常時(shí)閉 | 空気 不活性ガス | フェースシール継手 コンプレッション継手 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常時(shí)閉 | 空気 不活性ガス | Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |
