WEBカタログ
製品一覧
- エアマネジメントシステム
- 方向制御機(jī)器
-
エアシリンダ
- 選定ガイド(絞り込み)
- 標(biāo)準(zhǔn)形エアシリンダ（丸形）
- 標(biāo)準(zhǔn)形エアシリンダ（角形カバー）
- コンパクトエアシリンダ
- 耐環(huán)境仕様シリンダ
- フローティングジョイント／ロッドエンド
- 駆動制御機(jī)器
- メカジョイント式ロッドレスシリンダ
- マグネット式ロッドレスシリンダ
- テーブル付シリンダ
- ガイド付シリンダ
- デュアルロッドシリンダ
- ロック付シリンダ／エンドロック付シリンダ
- ファインロックシリンダ
- 特殊シリンダ
- クランプシリンダ
- ピンシフトシリンダ
- ストッパシリンダ
- 計測シリンダ
- バルブ付エアシリンダ
- ISOシリンダ
- ショックアブソーバ
- エアハイドロユニット
- オートスイッチ
- アクチュエータ位置センサ
- ロータリアクチュエータ／エアチャック
- 電動アクチュエータ／電動シリンダ
- 真空用機(jī)器
- 協(xié)働ロボット用グリッパ
- コンパクトコンプレッサ
- 圧縮空気清浄化機(jī)器
- モジュラF.R.L.／圧力制御機(jī)器
- モジュラF.R.L.
- 圧力制御機(jī)器
- 増圧弁
- 潤滑機(jī)器
- 管継手＆チューブ
- 駆動制御機(jī)器
- サイレンサ／エキゾーストクリーナ／ブローガン／圧力計
- スイッチ／センサ／コントローラ
- 靜電気対策機(jī)器／イオナイザー(除電機(jī)器)
-
産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム PROFINET 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム EtherNet/IP 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム EtherCAT 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム IO-Link 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム CC-Link 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム DeviceNet 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 PROFINET 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 EtherNet/IP 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 EtherCAT 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 Modbus TCP 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 ETHERNET POWERLINK 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 CC-Link IE Field 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 SSCNET III 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 MECHATROLINK-Ⅲ 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 PROFIsafe 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 IO-Link 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 PROFIBUS 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 DeviceNet 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 CC-Link 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 AS-interface 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 CompoNet 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 Interbus 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器 MECHATROLINK-Ⅱ 対応機(jī)器
- その他 RS232C 対応機(jī)器
- その他 RS485 対応機(jī)器
- 産業(yè)用通信機(jī)器／無線システム PROFINET 対応機(jī)器
- 流體制御用機(jī)器
- 薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ
- プロセスポンプ（ダイヤフラムポンプ）
- 溫調(diào)機(jī)器
- プロセスガス用機(jī)器 AP Tech
- 高真空機(jī)器
- 工業(yè)用フィルタ/焼結(jié)金屬エレメント
- 計裝用補(bǔ)助機(jī)器
- 油圧機(jī)器
テーマ?業(yè)種別カタログ
スリットバルブ
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
-
?長壽命：300萬回（常溫時）
?発塵量：1/5以下に低減（従來品比）
?メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
?安全対策
メカ式エンドロック機(jī)構(gòu)採用
-
2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
取扱説明書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 XGTP 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
スリットバルブ XGT
-
?半導(dǎo)體裝置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
-
2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。2D CAD
2D CADデータはこちら スリットバルブ XGT
取扱説明書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 XGT 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大気圧～10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
