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-
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テーマ?業(yè)種別カタログ
スリットバルブ
一覧
寫真300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
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?長壽命：300萬回（常溫時）
?発塵量：1/5以下に低減（従來品比）
?メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
?安全対策
メカ式エンドロック機構(gòu)採用
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2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
取扱説明書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 XGTP 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
スリットバルブ XGT
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?半導(dǎo)體裝置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
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2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。2D CAD
2D CADデータはこちら スリットバルブ XGT
取扱説明書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 XGT 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大気圧～10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
